MSDS
cleaning	丙酮 (Acetone)	甲醇	異丙醇(IPA)	氯化氫(HCl)	過氧化氫(H2O2)	硫酸(H2SO4)	三氯乙烷	三氟化氮	六氟乙烷
deposition	一氧化二氮 (笑氣)	二硼烷 (六氫化二硼)	六氟化鎢	四氯矽烷 (四氯化矽)	矽烷 (四氫化矽)	氨氣	砷化氫(AsH3)	磷化氫
dry etching	三氟甲烷	三氯化硼	六氟化硫	四氟化碳	四氯化碳	氟	氫氣	氯氣	溴化氫
wet etching	氟化氫(HF)	硫酸	氯化氫	硝酸	過氧化氫	磷酸
implantation	二硼烷 (六氫化二硼)	三氟化硼	砷化氫	磷化氫
lithography (negative)	光阻(AZ5214E)	去光阻劑	顯影劑 MF319	二甲苯	丙烯酸乙酯	丙烯酸甲酯	丙酮	異丙醇	異戊間二烯
lithography (positive)				Ethanolamine	乙二醇	氫氧化鈉	氫氧化鉀	異丙醇	去光阻劑(PRS-3000)
oxidation	三氯乙烯	三氯乙烷	氧氣

　

NDL實驗氣體偵測標準 (update on 11/13/2018)

勞工作業場所容許暴露標準，空氣中有害物容許濃度_表一

(update on 11/16/2018)

What is difference between MSDS and SDS? (update on 3/16/2020)